Вакуумная установка в машиностроении, предназначена для проведения разл. технол. процессов с использованием вакуума при давл. от 0,1 до 0,001 Па. По назначению различают В.у. для ионной имплантации, разл. видов напыления, терм, обработки, электронно лучевой сварки и др. В В.у. технол. процессы осуществляются в 2 стадии: генерация рабочего в-ва (пар или плазма) и взаимодействие его с обрабатываемой поверхностью. Осн. узлы В.у.: вакуумная камера, газораспределит. и откачивающая системы, вспомогат. устройства и технол. оснастка, системы эл.-питания и блокировки, испарители, ионные и плазменные ускорители. Установки имеют общие принципы построения отд. узлов, блоков; отличаются размерами, параметрами, конструкциями вакуумных камер, испарителей. Наиболее широко применяются В.у. дл. 3,6—5 м, шир. 2— 3,6 м, выс. 2—2,5 м с вакуумными камерами диам. 0,6—1,2 м, дл. 0,8— 3,0 м. Применяются в разл. отраслях науки и техники. В Башкортостане с кон. 70-х гг. 20 в. на ФГУП «Гидравлика» и в Уфимском моторостроительном производственном объединении применяются усовершенствованные на самих пр-тиях установки типов МАП-1, ННВ6, 6-И1 (Булат), ВИТА, УРМ-3. С 90-х гг. на этих пр-тиях используются разработанные в Авиационном техническом университете В.у. для обработки изделий с применением вакуумных ионноплазменных технологий.
