Микроэлектроника


Микроэлектроника, область электроники, занимающаяся созданием электронных устройств в микроминиатюрном исполнении. Развитие М. во 2-й пол. 20 в. стало возможным благодаря фуидам, достижениям науки в области физики твёрдого тела, созданию теории квантовой электроники. Область применения М.: приборы для авиац. и космич. аппаратов, вычислит. устройств, бытовой техники и др. С 70-х гг. 20 в. в Башкортостане осваивается тонко- вакуумное нанесение плёнок с послед. фотолитографич. обработкой) и толстоплёночная (нанесение через трафарет резистивных, диэл. и проводниковых паст на керамич. подложку с послед. спеканием в конвейерных печах) технологии изготовления интегральных схем (ИС). В 1969 на Уфим. НПП «Молния» была организована лаб. тонкоплёночной технологии, созданы первые резистивные микросхемы и конструкция микроузла в целом (Г.С.Кулешов, А.Ф.Супицкий, В.Г.Яковлев). Под руководством А.Н.Дегтярёва разработаны и внедрены в серийное произ-во тонкоплёночные микросхемы, используемые в блоках автоматики бортовой электроники, к-рые впервые применены в электронной системе самолёта Як-42 (В.П.Филиппов). В 1975 на базе лаб. создан производств. участок мощи. 5 тыс. микросхем в год. В 1977 разработан комплекс тонкоплёночных микросхем для системы управления двигателем самолёта МиГ-29, комплект функциональных узлов на базе толстоплёночных керамич. плат и первая отеч. микроЭВМ «Молния-Д» для самолётов Ан 70, Ил-114, МиГ-29К, Ту-334 и ракетной техники (А.В.Бирюков, Б.С.Дорфман, Супицкий и др.). В 1978 в НИИ «Солитон» под рук. А.П.Асабина была организована лаб. микроэлектроники, освоены технол. процессы разработки и изготовления тонко- и толстоплёночных микросборок, использов. впервые в многоканальных системах передачи информации по волоконно-оптич. кабелю (А.Я.Зайдман; см. Волоконно-оптическая линия связи); в 1984 впервые в стране созданы и внедрены в произ-во пром. технология изготовления большеразмерных металлодиэл. подложек и на их основе многоуровневых толстоплёночных коммутац. плат для гибридных интегр. узлов радиоэлектронной аппаратуры (Б.С.Гроссман, С.А.Зайдман). НИИ «Солитон» — единств. пр-тие в респ., где для проектирования и создания аппаратуры используется сочетание трёх технологий (тонко- и толстоплёночные и технология изготовления плат на металлодиэл. подложках). С 1990 ведётся работа по разработке и изготовлению больших ИС на базовых матричных кристаллах, используемых в выпускаемой ин-том аппаратуре. Большой вклад в разработку изделий М. для аппаратуры связи внесли В.В.Дарагач, В.Н.Хомский и др. В 1979 на Уфимском заводе коммутац. аппаратуры начато освоение произ-ва электронных АТС, в к-рых применялись гибридные интегр. схемы (ГИС) на толстых плёнках. В Спец. конструкторско-технол. бюро «Меркурий» была организована лаб. микроэлектроники, в к-рой решались проблемы изготовления микросхем на импортном оборуд. (А.И.Голенковский, К.В.Парфёнов) и перевода их на отеч. элементную базу (А.Г.Копанев, В.Ф.Лохматов, И.Н.Перов и др.); разработаны отеч. материалы (проводниковые, резистивные и др. пасты) для создания пассивных элементов толстоплёночных ГИС (Р.Р.Гареев, Ш.З.Измайлов и др.), методика лазерной подгонки резисторов и настройки ГИС (см. Лазер). В 1981 изготовлены первые опытные образцы ГИС для электронных АТС, в 1982 — для радиоприёмников «Уфа» и «Меркурий» (в 1983 начато их серийное произ-во на импортном оборудовании). В 1984 введён в строй цех по производству ГИС произв-стью до 4 млн. штук в год (Н.А.Рябинин). В 1985 в Баш. ПО «Прогресс» был организован участок М., преобразов. в 1987 в самостоятельное пр-тие (см. «Магнетрон»), в к-ром создана конструкция установки магнетронного напыления тонких плёнок в вакууме (В.П.Петраков); освоены новые технологии и серийное произ-во ИС (Д.И.Барклон, А.А.Ощепков, С.Н.Щуренко), увеличен выпуск продукции на базе тонкоплёночной технологии (телевизионные антенные усилители, микросборки для автоматизации управления нефт. качалками, предохранители для кроссового оборуд. АТС, изделия средств защиты речевой информации по телефонным линиям «Базальт»). В 80-е гг. в УППО начато освоение микроэлектронных технологий для авиац. приборостроения; в 1982 в ОКБ «Орбита» создан сектор комплексной микроминиатюризации, в 1983 разработаны микросборки для бортовых цифровых вычислит. машин; в 1987 организован отдел М., в 1988—89 освоено произ-во тонкоплёноч. микросборок, в т.ч. представляющих собой оконечный каскад мультиплексного канала связи бортовых комплексов самолёта Ан-70 (С.А.Лавров, О.Е.Рассказов). В БГУ освоена технология вакуумного напыления проводниковых и резистивных материалов (под рук. В.М.Ягодкина), созданы системы совместимых композиционных паст (Н.И.Абдрахманов, А.В.Васильев, Ф.Ч.Каримов).

Комментарии0